簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電漿處理".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="通道層"


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    通道層處理技術於低溫複晶矽薄膜電晶體 特性改善之研究
    • 光電工程研究所 /98/ 碩士
    • 研究生: 王守寬 指導教授: 范慶麟
    • 為了改善低溫複晶矽薄膜電晶體電特性與穩定度,本論文以Fluorosilicate glass (FSG)覆蓋在通道層即複晶矽(Poly silicon, poly-si)上,在源極與汲極形成的同時,…
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